02/09/2026
這次在 SEMICON Taiwan 2026 國際半導體展的 Corning 康寧攤位上,看到了幾項與 CPO 光學應用相關的玻璃元件,包括 FAU、MLA、PMLA。
現場其實很有意思,很多人都圍在展示用的放大鏡前拍照,想把裡面的微細結構拍清楚。
其中最吸引我們注意的,就是 FAU 上面的 V-Groove(V溝)。
這次我們也直接用手機近距離拍下來,可以很清楚看到一條一條非常細密的 V 溝結構。而這類 FAU V-Groove,正是敝公司代理的 芝浦機械 SHIBAURA MACHINE USM-20A(H2) 所擅長的超精密加工領域。
對 FAU 來說,真正困難的並不是單純把 V 溝「切出來」,而是每一條 V 溝之間的 Pitch(節距)都必須維持非常高的一致性。
依芝浦機械原廠資料,USM-20A(H2) 目前是全球唯一能在機械加工上實現 Pitch 精度 ±0.3 μm 的超精密 V-Groove 加工設備。
±0.3 μm 是什麼概念?
也就是 ±0.0003 mm。
當幾十條、甚至更多 V 溝連續排列在一起時,仍然要將每一個 Pitch 的節距誤差控制在這樣的範圍內,這才是 FAU 加工真正困難的地方。
而加工完成之後,還需要精密量測來確認實際加工結果。
目前這類高精度 V-Groove,也可以搭配敝公司代理的英國 Taylor Hobson 接觸式輪廓儀,針對 Pitch、溝槽輪廓、深度、角度等項目進行量測與品質確認。
所以從實際製程來看,可以形成一套很完整的搭配:
芝浦機械負責超精密加工,Taylor Hobson 負責超精密量測。
這次在康寧的 CPO 展示中,能夠直接看到實際的 FAU 與 V-Groove 結構,也讓這些平常在型錄、圖面或技術資料裡看到的東西,一下子變得非常具體。
隨著 CPO、矽光子與高速光通訊持續發展,FAU 以及相關微細光學元件對加工精度的要求只會越來越高。
而這也正是超精密加工設備接下來非常值得關注的應用方向。
🔹 芝浦機械 USM-20A(H2) 產品介紹
https://www.sunwisdom.com.tw/shibaura-machine-ultra-precision-slicer-v-groove-slicer.html
#矽光子 #超精密加工 #康寧